La tecnologia delle tubazioni a gas di alta purezza è una parte importante del sistema di approvvigionamento di gas di alta purezza, che è la tecnologia chiave per fornire il gas di alta purezza richiesto al punto di utilizzo e mantenere comunque la qualità qualificata; La tecnologia delle tubazioni a gas di alta purezza include la progettazione corretta del sistema, la selezione di accessori e accessori, costruzione e installazione e test. Negli ultimi anni, i requisiti sempre più severi sulla purezza e il contenuto di impurità di gas di alta purezza nella produzione di prodotti di microelettronica rappresentati da circuiti integrati su larga scala hanno reso la tecnologia delle tubazioni di gas di alta purezza sempre più preoccupata e sottolineata. Di seguito è riportata una breve panoramica delle tubazioni del gas ad alta purezza dalla selezione dei materialiof costruzione, nonché accettazione e gestione quotidiana.
Tipi di gas comuni
Classificazione di gas comuni nel settore elettronico：
Gas comuni（Gas sfuso）: idrogeno (h2), azoto (n2), ossigeno (o2), argon (a2), ecc.
Gas specialisono sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Co,C2F6, N2O,F2,Hf,Hbr sf6…… ecc.
I tipi di gas speciali possono essere generalmente classificati come corrosivigas, tossicogas, infiammabilegas, combustibilegas, inertegas, ecc. I gas a semiconduttore comunemente usati sono generalmente classificati come segue.
(i) corrosivo / tossicogas: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3... ecc.
(ii) Infiammabilitàgas: H2, Ch4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Cap3F, co ... ecc.
(iii) combustibilitàgas: O2, Cl2, N2O, nf3... ecc.
(iv) inertegas: N2, Cfr4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, kr, lui ... ecc.
Molti gas di semiconduttore sono dannosi per il corpo umano. In particolare, alcuni di questi gas, come SIH4 Combustione spontanea, fintanto che una perdita reagirà violentemente con l'ossigeno nell'aria e inizierà a bruciare; e cenere3Altamente tossico, qualsiasi leggera perdita può causare il rischio di vita umana, è a causa di questi evidenti pericoli, quindi i requisiti per la sicurezza della progettazione del sistema sono particolarmente elevati.
Ambito dell'applicazione dei gas
Poiché un'importante materia prima di base dell'industria moderna, i prodotti a gas sono ampiamente utilizzati e un gran numero di gas comuni o gas speciali vengono utilizzati in metallurgia, acciaio, petrolio, industria chimica, macchinari, elettronica, vetro, ceramica, materiali da costruzione, costruzione, medicina, medicina e settori medico. L'applicazione del gas ha un impatto importante sull'alta tecnologia di questi campi in particolare ed è la sua indispensabile gas per materie prime o gas di processo. Solo con le esigenze e la promozione di vari nuovi settori industriali e la scienza e la tecnologia moderne, i prodotti del settore del gas possono essere sviluppati da passi da gigante in termini di varietà, qualità e quantità.
Applicazione del gas in microelettronica e industria dei semiconduttori
L'uso del gas ha sempre svolto un ruolo importante nel processo di semiconduttore, in particolare il processo di semiconduttore è stato ampiamente utilizzato in vari settori, dal tradizionale ULSI, TFT-LCD all'attuale industria microelettro-meccanica (MEMS), che utilizzano tutti il cosiddetto processo a semiconduttore come processo di produzione di prodotti. La purezza del gas ha un impatto decisivo sulle prestazioni dei componenti e dei rendimenti dei prodotti e la sicurezza dell'approvvigionamento di gas è correlata alla salute del personale e alla sicurezza delle operazioni vegetali.
Il significato delle tubazioni di alta purezza nel trasporto di gas di alta purezza
Nel processo di scioglimento e materiale in acciaio inossidabile, circa 200 g di gas possono essere assorbiti per tonnellata. Dopo la lavorazione dell'acciaio inossidabile, non solo la sua superficie appiccicosa con vari contaminanti, ma anche nel suo reticolo metallico ha assorbito anche una certa quantità di gas. Quando c'è un flusso d'aria attraverso il gasdotto, il metallo assorbe questa parte del gas rientrerà nel flusso d'aria, inquinando il gas puro. Quando il flusso d'aria nel tubo è un flusso discontinuo, il tubo assorbono il gas sotto pressione e quando il flusso d'aria interrompe il passaggio, il gas adsorbito dal tubo forma una caduta di pressione per risolvere e il gas risolto entra anche nel gas puro nel tubo come impurità. Allo stesso tempo, l'adsorbimento e la risoluzione vengono ripetuti, in modo che il metallo sulla superficie interna del tubo produca anche una certa quantità di polvere e anche questa particelle di polvere di metallo inquina il gas puro all'interno del tubo. Questa caratteristica del tubo è essenziale per garantire la purezza del gas trasportato, che richiede non solo una levigatezza molto elevata della superficie interna del tubo, ma anche un'alta resistenza all'usura.
Quando viene utilizzato il gas con forti prestazioni corrosive, per le tubazioni devono essere utilizzati tubi in acciaio inossidabile resistente alla corrosione. Altrimenti, il tubo produrrà punti di corrosione sulla superficie interna a causa della corrosione e, in casi gravi, ci sarà una vasta area di stripping metallico o persino per perforazione, che contaminerà il gas puro da distribuire.
La connessione delle condutture di trasmissione e distribuzione del gas ad alta purezza e ad alta pulizia di grandi portate.
In linea di principio, tutti sono saldati e i tubi utilizzati sono tenuti a non avere cambiamenti nell'organizzazione durante l'applicazione della saldatura. I materiali con contenuto di carbonio troppo elevato sono soggetti alla permeabilità dell'aria delle parti saldate durante la saldatura, il che rende la reciproca penetrazione dei gas all'interno e all'esterno del tubo e distrugge la purezza, la secchezza e la pulizia del gas trasmesso, con conseguente perdita di tutti i nostri sforzi.
In sintesi, per il gas di trasmissione di gas di alta purezza e speciali tubazioni di trasmissione di gas, è necessario utilizzare un trattamento speciale di tubi in acciaio inossidabile ad alta purezza, per rendere un sistema di tubazioni di alta purezza (inclusi tubi, raccordi, valvole, VMB, VMP) nella distribuzione di gas di alta purezza occupa una missione vitale.
Concetto generale di tecnologia pulita per le condutture di trasmissione e distribuzione
Trasmissione del corpo a gas altamente pura e pulita con tubazioni significa che ci sono alcuni requisiti o controlli per trasportare tre aspetti del gas.
Purività del gas: il contenuto dell'atmosfera di impurità nella purezza dei GGA: il contenuto dell'atmosfera di impurità nel gas, di solito espresso in percentuale di purezza del gas, come il 99,9999%, espresso anche come rapporto di volume di contenuto di atmosfera di impurità PPM, PPB, PPT.
Secchezza: la quantità di tracce di umidità nel gas, o la quantità chiamata umidità, di solito espressa in termini di punto di rugiada, come il punto di rugiada della pressione atmosferica -70. C.
Pulizia: il numero di particelle di contaminanti contenute nel gas, dimensioni delle particelle di µm, quante particelle/m3 esprimessero, per l'aria compressa, di solito espresse anche in termini di quanti mg/m3 di inevitabili residui solidi, che coprono il contenuto di olio.
Classificazione delle dimensioni degli inquinanti: particelle di inquinanti, si riferiscono principalmente alla perforazione della pipeline, all'usura, alla corrosione generata da particelle metalliche, particelle di fuliggine atmosferica, nonché microrganismi, fagi e gocce di condensazione del gas contenenti umidità, ecc.
a) Particelle di grandi dimensioni - dimensioni delle particelle sopra 5μm
b) particelle-diametro del materiale tra 0,1μm-5μm
c) particelle ultra-micro-dimensione delle particelle inferiori a 0,1 μm.
Al fine di migliorare l'applicazione di questa tecnologia, per essere in grado di comprensione percettiva della dimensione delle particelle e delle unità μm, è fornito un insieme di stato di particelle specifico per riferimento
Quello che segue è un confronto di particelle specifiche
| Nome /dimensione delle particelle (µm) | Nome /dimensione delle particelle (µm) | Nome/ dimensione delle particelle (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet aerosol 1-12 |
| Combustibile nucleare 0,01-0,1 | Dipingi 0,1-6 | Cenere volante 1-200 |
| Carbon Black 0.01-0.3 | Latte in polvere 0,1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0,01-1 | Batteri 0,3-30 | Polvere di cemento 5-100 |
| Fumo di sigaretta 0,01-1 | Polvere di sabbia 0,5-5 | Polline 10-15 |
| Silicone 0,02-0,1 | Pesticida 0,5-10 | Capelli umani 50-120 |
| Sale cristallizzato 0,03-0,5 | Polvere di zolfo concentrata 1-11 | Sabbia di mare 100-1200 |
Tempo post: 18-2022 giugno