La tecnologia delle tubazioni del gas ad alta purezza è una parte importante del sistema di fornitura di gas ad alta purezza, che è la tecnologia chiave per fornire il gas ad alta purezza richiesto al punto di utilizzo e mantenere comunque la qualità qualificata;La tecnologia delle tubazioni del gas ad alta purezza include la corretta progettazione del sistema, la selezione di raccordi e accessori, la costruzione e l'installazione e il collaudo.Negli ultimi anni, i requisiti sempre più severi sulla purezza e sul contenuto di impurità dei gas ad alta purezza nella produzione di prodotti di microelettronica rappresentati da circuiti integrati su larga scala hanno reso la tecnologia delle tubazioni dei gas ad alta purezza sempre più preoccupata ed enfatizzata.Quella che segue è una breve panoramica delle tubazioni per gas ad alta purezza dalla selezione dei materialiof costruzione, nonché accettazione e gestione quotidiana.
Tipi di gas comuni
Classificazione dei gas comuni nell'industria elettronica：
Gas comuni（Gas sfuso）: idrogeno (h2), azoto (n2), ossigeno (O2), Argon (A2), eccetera.
Gas specialisono SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SI4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… eccetera.
I tipi di gas speciali possono generalmente essere classificati come corrosivigas, tossicogas, infiammabilegas, combustibilegas, inertegas, ecc. I gas semiconduttori comunemente usati sono generalmente classificati come segue.
(i) Corrosivo/tossicogas: HCl , BF3, W.F6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…eccetera.
(ii) Infiammabilitàgas: H2, CH4, Si H4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO…ecc.
(iii) combustibilitàgas: O2, Cl2, N2Oh, NF3… eccetera.
(iv) Inertegas: N2, Cfr4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…ecc.
Molti gas semiconduttori sono dannosi per il corpo umano.In particolare, alcuni di questi gas, come il SiH4 combustione spontanea, fintanto che una perdita reagirà violentemente con l'ossigeno nell'aria e comincerà a bruciare;e Ash3altamente tossico, qualsiasi lieve perdita può causare il rischio di vite umane, è a causa di questi evidenti pericoli, quindi i requisiti per la sicurezza della progettazione del sistema sono particolarmente elevati.
Ambito di applicazione dei gas
Come importante materia prima di base dell'industria moderna, i prodotti a gas sono ampiamente utilizzati e un gran numero di gas comuni o gas speciali sono utilizzati in metallurgia, acciaio, petrolio, industria chimica, macchinari, elettronica, vetro, ceramica, materiali da costruzione, costruzione , agroalimentare, farmaceutico e medicale.L'applicazione del gas ha un impatto importante sull'alta tecnologia di questi campi in particolare, ed è il suo indispensabile gas di materia prima o gas di processo.Solo con le esigenze e la promozione di vari nuovi settori industriali e della scienza e della tecnologia moderne, i prodotti dell'industria del gas possono essere sviluppati a passi da gigante in termini di varietà, qualità e quantità.
Applicazione del gas nell'industria della microelettronica e dei semiconduttori
L'uso del gas ha sempre svolto un ruolo importante nel processo dei semiconduttori, in particolare il processo dei semiconduttori è stato ampiamente utilizzato in vari settori, dal tradizionale ULSI, TFT-LCD all'attuale industria microelettromeccanica (MEMS), tutti di che utilizzano il cosiddetto processo a semiconduttore come processo di fabbricazione dei prodotti.La purezza del gas ha un impatto decisivo sulle prestazioni dei componenti e sulle rese del prodotto, e la sicurezza dell'approvvigionamento di gas è correlata alla salute del personale e alla sicurezza delle operazioni dell'impianto.
L'importanza delle tubazioni ad alta purezza nel trasporto di gas ad alta purezza
Nel processo di fusione dell'acciaio inossidabile e di produzione del materiale, è possibile assorbire circa 200 g di gas per tonnellata.Dopo la lavorazione dell'acciaio inossidabile, non solo la sua superficie appiccicosa con vari contaminanti, ma anche nel suo reticolo metallico assorbiva anche una certa quantità di gas.Quando c'è flusso d'aria attraverso la tubazione, il metallo assorbe questa parte del gas che rientrerà nel flusso d'aria, inquinando il gas puro.Quando il flusso d'aria nel tubo è discontinuo, il tubo assorbe il gas sotto pressione e quando il flusso d'aria smette di passare, il gas adsorbito dal tubo forma una caduta di pressione per risolversi e anche il gas risolto entra nel gas puro nel tubo come impurità.Allo stesso tempo, l'adsorbimento e la risoluzione vengono ripetuti, in modo che anche il metallo sulla superficie interna del tubo produca una certa quantità di polvere, e queste particelle di polvere metallica inquinino anche il gas puro all'interno del tubo.Questa caratteristica del tubo è fondamentale per garantire la purezza del gas trasportato, che richiede non solo un'elevatissima levigatezza della superficie interna del tubo, ma anche un'elevata resistenza all'usura.
Quando si utilizza il gas con forti prestazioni corrosive, per le tubazioni devono essere utilizzati tubi in acciaio inossidabile resistenti alla corrosione.In caso contrario, il tubo produrrà punti di corrosione sulla superficie interna a causa della corrosione e, in casi gravi, si verificherà un'ampia area di sverniciatura del metallo o addirittura perforazione, che contaminerà il gas puro da distribuire.
Il collegamento di condotte di trasporto e distribuzione di gas ad alta purezza e alta pulizia di grandi portate.
In linea di principio, tutti sono saldati e i tubi utilizzati non devono subire modifiche nell'organizzazione quando viene applicata la saldatura.I materiali con un contenuto di carbonio troppo elevato sono soggetti alla permeabilità all'aria delle parti saldate durante la saldatura, che rende la reciproca penetrazione dei gas all'interno e all'esterno del tubo e distrugge la purezza, la secchezza e la pulizia del gas trasmesso, con conseguente perdita di tutti i nostri sforzi.
In sintesi, per il gas ad alta purezza e la conduttura di trasporto del gas speciale, è necessario utilizzare un trattamento speciale del tubo in acciaio inossidabile ad alta purezza, per realizzare un sistema di tubazioni ad alta purezza (compresi tubi, raccordi, valvole, VMB, VMP) in la distribuzione di gas ad alta purezza occupa una missione vitale.
Concetto generale di tecnologia pulita per le condotte di trasmissione e distribuzione
La trasmissione del corpo del gas altamente puro e pulito con tubazioni significa che ci sono determinati requisiti o controlli per tre aspetti del gas da trasportare.
Purezza del gas: il contenuto dell'atmosfera di impurità nel gPurezza del gas: il contenuto dell'atmosfera di impurità nel gas, generalmente espresso come percentuale della purezza del gas, ad esempio 99,9999%, espresso anche come rapporto volumetrico del contenuto dell'atmosfera di impurità ppm, ppb, ppt.
Secchezza: la quantità di tracce di umidità nel gas, o la quantità chiamata umidità, generalmente espressa in termini di punto di rugiada, come il punto di rugiada alla pressione atmosferica -70.C.
Pulizia: il numero di particelle contaminanti contenute nel gas, dimensione delle particelle di µm, quante particelle/M3 esprimere, per l'aria compressa, solitamente espressa anche in termini di quanti mg/m3 di residui solidi inevitabili, che copre il contenuto di olio .
Classificazione delle dimensioni degli inquinanti: particelle inquinanti, si riferisce principalmente alla pulizia delle tubazioni, all'usura, alla corrosione generata da particelle metalliche, particelle di fuliggine atmosferica, nonché microrganismi, fagi e goccioline di condensa di gas contenenti umidità, ecc., in base alla dimensione delle sue particelle è diviso in
a) Particelle grandi – dimensione delle particelle superiore a 5μm
b) Particella: diametro del materiale compreso tra 0,1 μm e 5 μm
c) Particelle ultra-micro – dimensione delle particelle inferiore a 0,1 μm.
Al fine di migliorare l'applicazione di questa tecnologia, per essere in grado di comprendere percettivamente le dimensioni delle particelle e le unità μm, viene fornito un insieme di stati specifici delle particelle come riferimento
Quello che segue è un confronto di particelle specifiche
| Nome/dimensione delle particelle (µm) | Nome/dimensione delle particelle (µm) | Nome/ Dimensione delle particelle (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microgocce aerosolizzate 1-12 |
| Combustibile nucleare 0,01-0,1 | Dipingi 0,1-6 | Cenere volante 1-200 |
| Nerofumo 0,01-0,3 | Latte in polvere 0,1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0.01-1 | Batteri 0,3-30 | Polvere di cemento 5-100 |
| Fumo di sigaretta 0,01-1 | Polvere di sabbia 0,5-5 | Polline 10-15 |
| Silicone 0,02-0,1 | Pesticida 0,5-10 | Capelli umani 50-120 |
| Sale cristallizzato 0,03-0,5 | Polvere di zolfo concentrata 1-11 | Sabbia marina 100-1200 |
Tempo di pubblicazione: 14-giu-2022