Il processo di produzione dei gas speciali elettronici include diversi processi come la sintesi, la purificazione, il riempimento, l'analisi e il test, la miscelazione e la proporzione. Al fine di soddisfare i requisiti di produzione a valle dei semiconduttori per la purezza e il contenuto di impurità, il processo di purificazione è molto importante. A seconda della composizione del gas di sintesi a monte o del gas grezzo, viene eseguita una distillazione a bassa temperatura o la purificazione a più stadi.
Requisiti di pulizia elevata
Il processo di preparazione dei gas speciali elettronici può essere diviso in due principali blocchi di preparazione e purificazione della sintesi a monte, che appartengono al processo di produzione chimica. La dimensione della pipeline di produzione è grande e non esiste un requisito di livello di pulizia speciale. Dopo la purificazione a valle, il prodotto è pieno di gas e miscelato per la preparazione. La pipeline di produzione è piccola e ha requisiti di livello di pulizia. Deve soddisfare le specifiche standard del processo di produzione dei semiconduttori.
Elevati requisiti di tenuta
A causa della loro attività chimica, i gas speciali elettronici pongono anche elevate richieste sui materiali e la tenuta del sistema di processo di produzione. Proprio come i requisiti della produzione di semiconduttori, impedisce la perdita di interfaccia causata dall'introduzione di impurità o corrosione di gas speciali. Il sistema può anche essere utilizzato per prevenire l'introduzione di impurità o la perdita di interfaccia causata dalla corrosione di gas speciali.
Requisiti di stabilità di alta qualità
La qualità dei gas speciali elettronici include una serie di indicatori come il contenuto di particelle di purezza e impurità. Qualsiasi cambiamento negli indicatori influenzerà i risultati del processo di produzione dei semiconduttori a valle. Pertanto, al fine di garantire la coerenza degli indicatori di prodotti elettronici del gas speciali, è anche molto importante il sistema di processo di preparazione per controllare la stabilità degli indicatori.
A causa dell'attività chimica e dei requisiti di qualità dell'EGP, il sistema di produzione per la preparazione dell'EGP, in particolare il sistema di purificazione a valle, deve soddisfare i requisiti di materiali ad alta purezza, elevata tenuta, alta pulizia e coerenza di alta qualità e la costruzione di componenti ingegnerizzati deve soddisfare gli standard del settore della produzione semiconduttore.
Ciò che comunemente chiamiamo "elevata purezza" è teoricamente la definizione della purezza di una sostanza, come gas ad alta purezza, sostanze chimiche ad alta purezza, ecc. I sistemi di processo o i componenti del sistema di processo che vengono applicati a sostanze ad alta purezza sono anche definiti ad alta purezza, come sistemi ad alta pulizia e valvole ad alta pulizia. I sistemi di preparazione di gas speciali elettronici richiedono raccordi per applicazioni ad alta purezza, valvole e altri componenti del fluido, IE, raccordi e valvole che vengono elaborate con materiali ad alta purezza e processi di produzione puliti e strutturati per facilitature e pulizia. Con alte prestazioni di tenuta. Questi componenti fluidi sono progettati per soddisfare il percorso di flusso di processo dell'applicazione, utilizzando i requisiti di ingegneria e costruzione del settore dei semiconduttori.
Collegamenti per tubazioni ad alta purezza
Le connessioni di guarnizione della guarnizione in metallo VCR e le connessioni di saldatura automatica sono ampiamente utilizzate nei requisiti di processo di purezza del sistema di fluido a causa della capacità di soddisfare sia la transizione regolare del percorso di flusso sulla connessione, nessuna zona di stagnazione e elevate prestazioni di tenuta. Le connessioni VCR formano una tenuta a superficie stretta estrutando una guarnizione in metallo relativamente morbido. La connessione ripetibile e coerente e le prestazioni di tenuta vengono garantite ogni volta che la guarnizione deformata viene rimossa e sostituita.
I tubi vengono saldati utilizzando un sistema di saldatura orbitale automatico. Il tubo è protetto da gas ad alta purezza all'interno e all'esterno. L'elettrodo di tungsteno ruota lungo l'orbita per saldatura di alta qualità. La saldatura orbitale completamente automatizzata scioglie il tubo senza introdurre altri materiali, ottenendo una saldatura di alta qualità controllando ripetutamente il tubo a parete sottile è difficile da ottenere con la saldatura manuale.
Connessione per guarnizione della guarnizione in metallo VCR
Collegamento automatico della saldatura del testare orbitale dei tubi
Valvole ad alta purezza
L'attività chimica di gas di specialità elettronici infiammabili, esplosivi, corrosivi e tossici pone elevate richieste sulla tenuta della valvola. Al fine di migliorare l'affidabilità della tenuta, il requisito delle valvole senza imballaggio per prevenire perdite esterne, ovvero il funzionamento di commutazione dello stelo della valvola e del corpo della valvola tra la guarnizione con soffietti metallici o diaframma metallico, al fine di eliminare la perdita a causa di abrasione e deformazione della guarnizione. Le valvole a soffietto e sigillate dal diaframma sono comunemente utilizzate nei sistemi di processo per applicazioni di alta purezza a causa della maggiore affidabilità delle guarnizioni e della più semplice sostituzione della pulizia e dello spurgo degli interni della valvola.
Le valvole a mannello sono una costruzione della valvola a aghi senza imballaggio che consente una lenta regolazione di apertura e flusso. Utilizzato per il riempimento di gas specializzato elettronico con requisiti di flusso di sicurezza o su bottiglie di origine precursore con elevati requisiti di sicurezza. Le guarnizioni della punta dello stelo integrale consentono temperature operative estremamente basse e vengono utilizzate per la liquefazione criogenica di gas speciali elettronici nei serbatoi di prodotto finito dopo una distillazione criogenica per le tubazioni.
La valvola di tenuta del diaframma senza molla è una valvola a snap-open da 1/4 ″ da utilizzare come valvola di commutazione controllata automaticamente nelle tubazioni di consegna. Sono comunemente usati in applicazioni ad alta pressione e ad alta purezza grazie al loro semplice percorso di flusso interno, al piccolo volume interno e alla facilità di spurgo e sostituzione.
Le valvole sigillate dal diaframma che si chiudono tramite la punta dello stelo possono aprirsi lentamente ed essere utilizzate a pressioni operative più elevate rispetto alle valvole a livello di diaframma non propenso. Sono ampiamente utilizzati su riempimento di gas elettronico ad alta pressione o bottiglie di sorgente precursore.
La valvola del soffietto di tenuta secondaria non può essere utilizzata solo nei sistemi di processo di temperatura ultra -bassa a -200 gradi, ma impedisce anche la perdita di media pericolosi nell'atmosfera. Di solito utilizzato per gas speciali elettronici molto pericolosi, come il sistema di riempimento silano.
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Tempo post: lug-19-2023