Man mano che il mercato dei semiconduttori cresce, gli standard per la purezza e l'accuratezza diventano più rigorosi. Uno dei fattori determinanti nella qualità della produzione di semiconduttori sono i gas utilizzati nel processo. These gases play many roles in the manufacturing process, including:
Prevenzione della contaminazione
To perform these roles effectively, the gas supply and distribution system must be efficient. La progettazione di sistemi di gestione del gas utilizzati nella produzione di semiconduttori deve essere supportata da solidi componenti e assiemi personalizzati per garantire una produzione affidabile e di alta qualità di semiconduttori.
Gas utilizzati nella produzione di semiconduttori
Il processo di produzione di semiconduttori richiede l'uso di gas diversi nelle diverse fasi del processo.
Mentre nella loro forma pura possono essere utilizzati gas comuni come azoto, idrogeno, argon ed elio, alcuni processi possono richiedere miscele specializzate. Silanes o siloxanes, esafluoridi, alogenuri e idrocarburi sono alcuni dei gas speciali utilizzati nella produzione di semiconduttori. Molti di questi gas possono essere pericolosi o altamente reattivi, creando sfide nella selezione e nella progettazione di componenti per i sistemi di gas.
Ecco alcuni esempi:
\ I silani sono altamente infiammabili e possono combustione spontaneamente (autoignite) in aria.
\ Difluoruro di azoto usato nelle fasi di deposizione, incisione e pulizia della camera diventa un potente gas serra quando trapelato nell'ambiente.
\ Fluoruro di idrogeno (gas di attacco) è altamente corrosivo alle tubazioni metalliche.
\ Trimetilgallium e ammoniaca possono essere difficili da gestire: piccole fluttuazioni nei loro requisiti di temperatura e pressione possono influire sul processo di deposizione.
Il controllo delle condizioni del processo per ridurre al minimo gli effetti negativi di questi gas deve essere una priorità assoluta durante la progettazione del sistema. È altrettanto importante utilizzare i componenti di alta qualità come le valvole del diaframma AFK durante il processo di build.
Affrontare le sfide della progettazione del sistema
I gas di grado a semiconduttore sono nella maggior parte dei casi di elevata purezza e forniscono condizioni inerte o migliorano le reazioni in diverse fasi del processo di produzione, come l'attacco e i gas di deposizione. La perdita o la contaminazione di tali gas possono avere effetti negativi. Pertanto, è fondamentale che i componenti del sistema fossero ermeticamente sigillati e resistenti alla corrosione, nonché avere una finitura superficiale liscia (lucidatura elettrolitica) per garantire che non vi siano possibilità di contaminazione e che possa essere mantenuto un livello estremamente elevato di pulizia.
Inoltre, alcuni di questi gas possono essere riscaldati o raffreddati per raggiungere le condizioni di processo desiderate. I componenti ben isolati garantiscono il controllo della temperatura, che è fondamentale per prestazioni efficienti del prodotto finale.
Dall'ingresso della sorgente al punto di utilizzo, l'ampia gamma di componenti di AFK supporta la purezza ultra-alta, la temperatura, la pressione e il controllo del flusso richiesto nelle camere pulite a semiconduttore e nelle camere a vuoto.
Sistemi progettati con componenti di qualità in FAB Semiconductor
Il ruolo dei componenti di qualità e l'ottimizzazione del design è fondamentale per il controllo preciso e la produzione sicura di semiconduttori. I componenti utilizzati devono essere robusti e privi di perdite per corrispondere alle diverse condizioni di processo richieste nelle diverse fasi della produzione.
Purezza ultra-alta
Sigillo senza perdite
Isolamento a temperatura controllata
Controllo della pressione
Resistenza alla corrosione
Trattamento di lucidatura elettrolitica
Tempo post: ottobre-09-2023