L'uso di gas nell'industria dei semiconduttori risale ai primi anni '50 agli anni '60. Durante il processo di produzione dei semiconduttori, i gas vengono utilizzati principalmente per pulire e proteggere i materiali a semiconduttore per garantire la loro purezza e qualità. Tra i gas più comunemente usati ci sono azoto e idrogeno.
Man mano che la tecnologia dei semiconduttori si sviluppava e i processi di produzione continuavano a migliorare, la domanda di gas è aumentata. Nel 1970, l'ulteriore sviluppo della tecnologia di produzione di semiconduttori, l'applicazione di gas in processi chiave come l'attacco e la deposizione di film sottili aumentarono gradualmente e i gas fluoruro (ad es. SF6) e l'ossigeno divenne comunemente usato gas e gas di deposizione. Il 1980 ha visto un ulteriore aumento della domanda di gas con lo sviluppo di circuiti integrati e l'aumento della domanda per loro. L'idrogeno è stato ampiamente utilizzato nel processo di produzione, tra cui ricottura dell'idrogeno e deposizione di vapore di idrogeno. E dal 1990 ad oggi, la domanda di gas di alta purezza e gas specifici è aumentata con l'aumentare delle dimensioni dei dispositivi a semiconduttore che hanno continuato a ridursi e sono stati introdotti nuovi processi. Ad esempio, l'applicazione di una litografia ultravioletta estrema (EUV) richiede l'uso di gas estremamente ad alta purezza come azoto e idrogeno.
Il gas a semiconduttore continua ad aumentare con lo sviluppo di prodotti correlati guidati da sempre più prodotti, mentre il gas appartiene anche alla fonte di pericolo, quindi i prodotti utilizzati per la decompressione del gas, i prodotti di rilevamento del gas e prevengono i prodotti di perdita di gas: sono emersi i prodotti per la pressione: le valvole a gas, le valvole del gas, le valvole a gas, le estensioni del gas sono le perdite di perdite di gas, ecc.
Regolatori di pressione: i regolatori di pressione sono dispositivi utilizzati per controllare la pressione del gas. Di solito sono costituiti da una valvola del regolatore e un sensore di pressione. I regolatori di pressione prendono un ingresso di gas ad alta pressione e stabilizzano la pressione del gas di uscita regolando la valvola per soddisfare i requisiti specifici dell'applicazione. I regolatori di pressione sono ampiamente utilizzati in settori come l'industria, la produzione e i laboratori, nonché nel settore dei semiconduttori, tra gli altri, per garantire la stabilità e la sicurezza dell'approvvigionamento di gas.
Valvole di gas: le valvole del gas vengono utilizzate per controllare il flusso di gas e per chiudere i passaggi del gas. Di solito hanno una funzione on/off che apre o chiude il flusso di gas. Esistono vari tipi di valvole a gas, tra cui valvole manuali, valvole elettriche e valvole pneumatiche. Sono ampiamente utilizzati nei sistemi di gas per controllare il flusso, la pressione e la portata dei gas.
Mintecce di pressione del gas: gli indicatori di pressione del gas vengono utilizzati per misurare il livello di pressione di un gas. Di solito sono installati in posizioni critiche nei sistemi di gas per monitorare le variazioni di pressione e assicurarsi che siano entro limiti sicuri. I calibri di gas sono ampiamente utilizzati nell'industria, nella produzione e nei laboratori e l'industria dei semiconduttori è stata coinvolta.
Rivelatori di perdite di gas: i rilevatori di perdite di gas vengono utilizzati per rilevare perdite nei sistemi di gas. RilevanoLa presenza di perdite di gas e suoni un allarme in modo da poter intraprendere un'azione tempestiva per prevenire incidenti di perdite. I rilevatori di perdite di gas sono ampiamente utilizzati nelle applicazioni industriali, chimiche, petrolifere e gas e sono state coinvolte anche l'industria dei semiconduttori.
Tempo post: febbraio 20-2024