Tutta la purezza elevata, l'elevata purezza nel tubo di azoto pulito deve essere consegnata allo strumento (POU) attraverso la conduttura. Al fine di raggiungere i requisiti di qualità dello strumento, nel caso degli indicatori di outlet di gas, è necessario prestare maggiore attenzione al sistema dei tubi, alla selezione dei materiali e alla qualità della costruzione. Oltre all'accuratezza dell'attrezzatura a gas o di purificazione, è in gran parte influenzato da molti fattori del sistema di tubazioni. Pertanto, la selezione dei tubi dovrebbe attenersi ai principi del settore pertinenti e indicare il materiale della pipeline.
Il materiale della pipeline di azoto pulito viene selezionato in base alle esigenze dell'uso e la BA 316L viene comunemente utilizzata a contatto con il chip ma non partecipa al processo reattivo. La rugosità superficiale nel tubo è uno standard per misurare la qualità del tubo. Più bassa è la rugosità, le possibilità di trasporto delle particelle sono notevolmente ridotte.
Le condotte pulite di azoto possono assorbire circa 200 g di gas per tonnellata durante il materiale di fusione in acciaio inossidabile. L'acciaio inossidabile viene elaborato, non solo la superficie è adesiva, ma anche una certa quantità di gas è influenzata anche nel suo reticolo metallico. Quando c'è un flusso d'aria nel gasdotto, questa parte del gas risiede nel metallo rientrerà nel flusso d'aria e inquinerà il gas puro. Quando il flusso intrattivo del tubo non è un flusso continuo.
Quando il tubo viene adsorbito sotto pressione, il gas viene adsorbito, il gas viene arrestato e il gas adsorbito dal tubo ha formato un'analisi a gradino e il gas analizzato viene anche usato come impurità nel gas puro nel tubo. Allo stesso tempo, adsorbimento, analizza, in modo che la superficie del tubo produca anche una certa polvere, che è anche un gas purificato nel tubo. Questa caratteristica del gasdotto pulito è fondamentale, al fine di garantire che la purezza del gas consegnata, non solo richiede una levigatezza molto elevata della superficie interna, ma anche di elevate caratteristiche resistenti all'usura.
Quando il gas è forte in corrosione, è necessario utilizzare il tubo in acciaio inossidabile resistente alla corrosione. Altrimenti, il tubo del gasdotto di gas pulito genererà punti di corrosione a causa della corrosione e ci saranno grandi spogliarello metallico o persino perforazione, e quindi inquinamento del gas puro con un gas puro.
Tempo post: MAR-07-2022