Le attrezzature per il trattamento del gas di coda possono gestire i gas utilizzati nei processi di attacco e nei processi di deposizione di vapore chimico nelle industrie a semiconduttore, cristallo liquido e energia solare, tra cui SIH4, Sih2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O e SO.
Metodo di trattamento del gas di scarico
Secondo le caratteristiche del trattamento dei gas di scarico, il trattamento può essere diviso in quattro tipi di trattamento:
1. Tipo di lavaggio dell'acqua (trattamento dei gas corrosivi)
2. Tipo ossidante (che si occupa di gas combustibili e tossici)
3. Adsorbimento (in base al tipo di materiale di adsorbimento per gestire il corrispondente gas di scarico).
4. Tipo di combustione del plasma (tutti i tipi di gas di scarico possono essere trattati).
Ogni tipo di trattamento ha i suoi vantaggi e svantaggi, nonché il suo campo di applicazione. Quando il metodo di trattamento è il lavaggio dell'acqua, l'attrezzatura è economica e semplice e può gestire solo gas solubili in acqua; La gamma di applicazioni del tipo di lavaggio dell'acqua elettrica è superiore a quella del tipo di lavaggio dell'acqua, ma il costo di funzionamento è elevato; Il tipo a secco ha una buona efficienza di trattamento e non è applicabile al flusso di gas che è facile da intasare o scorrere.
I prodotti chimici e i loro sottoprodotti comunemente usati nel settore dei semiconduttori possono essere classificati in base alle loro proprietà chimiche e alle loro diverse gamme:
1. Gas infiammabili come SIH4H2, ecc.
2. Gas tossici come Ash3, PH3, ecc.
3. Gas corrosivi come HF, HCl, ecc.
4. Gasi in serra come CF4, NF3, ecc.
Poiché i quattro gas di cui sopra sono dannosi per l'ambiente o il corpo umano, devono impedire la sua emissione diretta nell'atmosfera, quindi l'impianto di semiconduttore generale è installato con un ampio sistema di trattamento di gas di scarico centralizzato, ma questo sistema è solo scarico di acqua, quindi la sua applicazione è limitata ai gas di scarico dell'acqua a distanza a distanza e non può affrontare il sempre più eliminazione della divisione sottile del semi di scarico del semscolente. Pertanto, è necessario selezionare e abbinare le corrispondenti apparecchiature di trattamento dei gas di scarico in base alle caratteristiche del gas derivate da ciascun processo per risolvere il problema dei gas di scarico in piccolo. Poiché l'area di lavoro è principalmente lontana dal sistema di trattamento dei gas di scarico centrale, spesso a causa delle caratteristiche del gas portano alla cristallizzazione o all'accumulo di polvere nel gasdotto, con conseguente intasamento del gasdotto che porta a perdite di gas e, in casi gravi, anche causare un'esplosione, non può garantire che la sicurezza del lavoro del personale del sito. Pertanto, nell'area di lavoro deve configurare una piccola attrezzatura per il trattamento dei gas di scarico adatto alle caratteristiche del gas di processo, al fine di ridurre i gas di scarico stagnanti nell'area di lavoro, per garantire la sicurezza del personale.
Tempo post: agosto-10-2023