1 | Pressione massima di esercizio 20,6 Mpa. |
2 | Massimo.temperatura di lavoro 204 ℃ (ambiente ad alta temperatura fino a 454 ℃, in questo momento il materiale di tenuta viene sostituito con grafite espansa) |
3 | Sistema di filtraggio Sono applicabili particelle inquinanti, gas, liquidi. |
4 | Precisione del filtro sinterizzato per metallurgia delle polveri in acciaio inossidabile 2μm ~ 40μm |
5 | Flusso filtro 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.papà |
6 | Il filtro può essere cambiato. |
Caratteristiche del prodotto di Filtro
1 | Ampia gamma di applicazioni, portata da 15 a 300SL / min. |
2 | Ha una buona compatibilità con la maggior parte dei gas di processo per semiconduttori ad alta purezza. |
3 | La capacità di filtrazione di 3 nanoparticelle mantiene un'elevata efficienza di flusso e una caduta di pressione estremamente ridotta. |
4 | La superficie elettrolucidata 5Ra può prevenire l'inquinamento interno. |
5 | Cuocere con azoto caldo dopo acqua deionizzata per soddisfare gli standard di processo dei semiconduttori. |
6 | Ambiente di produzione, pulizia e confezionamento asettico privo di polvere a 1000 livelli. |
7 | Test per perdite di elio al 100%. |
Ingresso | Presa | |
1 | Raccordo per tubo da 1/8″ | Raccordo per tubo da 1/8″ |
2 | Raccordo per tubo da 1/4″ | Raccordo per tubo da 1/4″ |
3 | Raccordo tubo 3/8″ | Raccordo tubo 3/8″ |
4 | Raccordo per tubo da 1/2″ | Raccordo per tubo da 1/2″ |
5 | Raccordo per tubo da 6 mm | Raccordo per tubo da 6 mm |
6 | Raccordo per tubo da 8 mm | Raccordo per tubo da 8 mm |
7 | Raccordo per tubo da 10 mm | Raccordo per tubo da 10 mm |
8 | Raccordo per tubo da 12 mm | Raccordo per tubo da 12 mm |
9 | 1/8″ femmina NPT | 1/8″ femmina NPT |
10 | 1/4″ femmina NPT | 1/4″ femmina NPT |
11 | 1/4″ maschio NPT | 1/4″ maschio NPT |
12 | 3/8″ maschio NPT | 3/8″ maschio NPT |
13 | 1/2″ maschio NPT | 1/2″ maschio NPT |
Parametri delle prestazioni del prodotto del filtro
1 | Precisione del filtraggio | ≥0.0025μm | |
2 | Efficienza di filtrazione | Tasso di rimozione99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Portata nominale | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Composizione del filtro | elemento filtrante | 316L/PTFE |
9 | abitazione | acciaio inossidabile 316L | |
10 | Condizioni di lavoro | Massima pressione di ingresso | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Massima pressione differenziale | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Temperatura massima di esercizio | 430℃ (gas inerte) | |
13 | Tasso di perdita di elio | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Finitura superficiale | ≤Ra 5μpollici |